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旭(아사히)센이는 부직포 섬유 굵기 0.2㎛, pore size 0.2~0.3㎛의 세계에서 가장 최소 등급의 미세화에 성공한 나노 부직포필터「뉴테크 나노 KP 시리즈」를 개발하였다. 이로서 반도체 장치에서의 회로패턴의 미세화에 따른 겔 상 이물질을 제거하는 필터 경을 보다 미세화해 보집효율을 높여야 하는 요구에 대응할 수 있게 되었다.
주로 저항이나 필름재료 등의 고접도 액으로부터 겔 상 물질을 제거하거나 연마재나 잉크, 전극 등 미립자 슬러리 액의 응집물을 여과하는 용도 등을 들 수 있어, 이 회사는 이 분야에 미세화 된 필터를 투입해 타사와의 차별화를 꾀하고 있으며, 높은 공극율을 갖도록 해 수명연장 효과도 실현하였다.
원사를 찌그러트리지 않고도 pore size 크기를 0.2㎛ type 99.5%, 0.3㎛ type 99.9%를 달성하였다. Membrane 막에서는 여과가 어려웠던 고점도 액에서도 낮은 압손으로 사용이 가능하다.
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출처 : http://www.nikkan.co.jp (2014 年04 月17 日)
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