¼¼°è¿¡¼ °¡Àå °¡´À´Ù¶õ Çõ½ÅÀûÀÎ 150nm ÆÄÀ̹ö °³¹ß
µµ·¹ÀÌ(ÁÖ)´Â ÃÖ±Ù Á÷°æ 150nm¶ó´Â ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå °¡´À´Ù¶õ Ãʱؼ¼ ³ª³ëÆÄÀ̹ö¿Í ´Ü¸éÇü»óÀÌ YÇüÀÇ ÀÌÇü´Ü¸é ³ª³ëÆÄÀ̹ö °³¹ß¿¡ °¢°¢ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â µ¶ÀÚÀÇ Ãʹ̼¼ Æú¸®¸Ó È帧Á¦¾î¿¡ ÀÇÇÑ Á¤¹Ðº¹ÇÕ¹æ»ç±â¼ú¿¡ ÀÇÇØ ³ª³ë¼öÁØÀ̶ó°í ÇÏ´Â ±ØÇÑÀÇ °¡´Ã±â¿Í, ÀÌÇü´Ü¸éÀ̶ó°í ÇÏ´Â ÇüŸ¦ °¢±â °íÁ¤µµ·Î Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ³ª³ëÆÄÀ̹ö ±â¼úÀ» °®°í ÀÖ´Ù. À̹ø¿¡ ÀÌ ±â¼úÀ» Å©°Ô ÁøȽÃÅ´À¸·Î½á Áö±Ý±îÁö °¡´Ã±âÀÇ ÇÑ°è¿´´ø ¼¶À¯ °æ 300nm¸¦ ¹Ý°¨ÇÑ 150nm¶ó°í ÇÏ´Â ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå Á÷°æÀÌ ÀÛÀº À弶À¯Çü ³ª³ëÆÄÀ̹ö °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ¿´´Ù. ÇÑÆí Çü»ó¿¡ À־µ, ³ª³ëÆÄÀ̹öÀÌ¸é¼ ´Ü¸é¿¡ ¿ä(èê) ºÎºÐÀ» Çü¼º½ÃÅ°´Â ÃÊÁ¤¹Ð °¡°ø±â¼úÀ» âÃâ, Áö±Ý±îÁö »ï°¢Çü°ú ´Ù°¢Çü ´Ü¸é¿¡ ÀÌ¿© YÀÚÇü ´Ü¸é ³ª³ëÆÄÀ̹ö(¼¶À¯°æ 500nm) Á¦Á¶¿¡ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ Çõ½Å ³ª³ëÆÄÀ̹ö´Â À弶À¯·Î¼ Á÷¹°°ú Æí¹°·Î °¡°øÇϰųª ¿øÇÏ´Â ±æÀÌ·Î ÀÚ¸¥ ´Ü¼¶À¯·Î ºÎÁ÷Æ÷ µî¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶Ç ¾ò¾îÁø ³ª³ëÆÄÀ̹öÀÇ Á÷°æÀÌ ±ÕÀÏÇϱ⠶§¹®¿¡ ¼¶À¯ÀÇ Àý´Ü°ú Å»¶ôÀÌ Àû¾î ÇÑÃþ ¾ÈÁ¤µÈ Ç°ÁúÀÇ Á¦Ç°À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Å« Ư¡ÀÌ´Ù.
À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ¼¼°è ÃÖ´ë Ãʱؼ¼ ³ª³ëÆÄÀ̹ö¿Í YÀÚÇü ´Ü¸é ³ª³ëÆÄÀ̹ö´Â ¼¶À¯Áß·® ´ç Ç¥¸éÀûÀÌ Áö±Ý±îÁö ÀÌ»óÀ¸·Î ³ôÀº °ÍÀ¸·Î, ¶Ç ¼¶À¯°ø±ØÀ» ÀÓÀÇ·Î Á¦¾î°¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡, Èí½À¼º°ú Èí¼ö¼º, º¸¼ö¼º, ¸¶Âû°è¼ö¿¡ À̸£´Â ³ª³ëÆÄÀ̹öÀÇ Æ¯¼ºÀÌ ÇÑÃþ ¿Ã¶ó°¨Àº ¹°·Ð ¿©°ú․ºÐ¸®¼º´É µîÀÇ ¸ðµç ¼º´ÉÀ» Áö±Ýº¸´Ù ³ôÀº ¼öÁرîÁö ¹ßÇö½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀ» È°¿ëÇÑ µµ·¹ÀÌÀÇ Çõ½Å ³ª³ëÆÄÀ̹ö´Â ±â´É¼ºÀ» »ì¸° ÄèÀûÀÇ·ù¿Í ½ºÆ÷Ã÷ÀÇ·ù µîÀÇ °í±â´É ¾îÆз² Á¦Ç°À» ½ÃÀÛÀ¸·Î, ÇÊÅÍÀç·á¿Í ÀÇ·áÀç·á µî¿¡ À̸£´Â °í¼º´É »ê¾÷ÀÚÀç¿ëµµ, ȯ°æ ¿¡³ÊÁö, Á¤º¸Åë½Å°ú ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º, ÀÚµ¿Â÷, ¶óÀÌÇÁ»çÀ̾𽺠µî ´Ù¾çÇÑ ¿µ¿ª¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ ±â´ÉÀ» ¹ßÈÖÇϴ ÷´Ü¼ÒÀç·Î Àü°³µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Ãâó : http://www.toray.co.jp (2013 Ò´1 êÅ29 ìí)
|