Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  • Home
  • Sitemap
  • Contact us

»ê¾÷±â¼úÁ¤º¸

  • Home
  • >
  • Á¤º¸¸¶´ç
  • >
  • »ê¾÷±â¼úÁ¤º¸
À¯¿¬ÇÑ ½Ç¸®ÄÜ Å¾çÀüÁö ¼¶À¯
¿¬±¸¼Ò 2013-01-31 10122

 

À¯¿¬ÇÑ ½Ç¸®ÄÜ Å¾çÀüÁö ¼¶À¯

 

 

óÀ½À¸·Î žçÀüÁö°¡ °¡´ÉÇÑ ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ±¤¼¶À¯°¡ °³¹ßµÇ¾î ¹ÌÅÍ ±æÀ̱îÁö È®Àå °¡´ÉÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù. ÀÌ ¿¬±¸´Â žçÀüÁö ½Ç¸®ÄÜ ¿ÍÀ̾îµéÀ» Â¥¼­ À¯¿¬ÇÏ°í, Èְųª ¶Ç´Â ²¿ÀΠžçÀüÁö ¼¶À¯¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀ» ¿­¾îÁÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ¹ß°ßÀº Ææ½Çº£ÀÌ´Ï¾Æ ÁÖ¸³´ëÇÐÀÇ ¿¬±¸Áø¿¡ ÀÇÇؼ­ ÀÌ·ç¾îÁ³À¸¸ç, 2012³â 12¿ù 6ÀÏÀÚ "Advanced Materials" ¿Â¶óÀÎ Àú³Î¿¡ ¹ßÇ¥µÇ¾ú´Ù.

 

ÀÌ ¿¬±¸ÁøÀÇ »õ·Î¿î ¹ß°ßÀº ÀÌÀüÀÇ ±¤¼¶À¯¿Í ÀüÀÚĨÀ» ÅëÇÕÇÏ´Â ¹®Á¦¿¡ ±â¹ÝÇÏ°í ÀÖ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ÁýÀûȸ·Î´Â žçÀüÁö, ÄÄÇ»ÅÍ ¹× ÈÞ´ëÀüÈ­¿Í °°Àº ´ëºÎºÐÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀüÀÚ±â¼ú µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ±âº» ±¸¼º ¿ä¼Ò ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÆòÆòÇÑ Ä¨À» µÕ±Ù ±¤¼¶À¯¿Í ÇÕÄ¡´Â ´ë½Å¿¡, ¿¬±¸ÁøÀº »ç¶÷ÀÇ ¸Ó¸®Ä«¶ô µÎ²²º¸´Ù ´õ ¾ãÀº »õ·Î¿î Á¾·ùÀÇ ±¤¼¶À¯¸¦ Á¦ÀÛÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ¹ß°ßÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ±¤¼¶À¯ÀÇ ÀÚü ÅëÇÕµÈ ÀüÀÚºÎÇ°À» °¡Áö°í À־ ±¤¼¶À¯¿Í ĨÀ» ÅëÇÕÇÒ Çʿ並 ¾ø¾Ø °ÍÀÌ´Ù.

 

ÀÌ·¸°Ô Çϱâ À§Çؼ­, ¿¬±¸ÁøÀº °í¾Ð È­ÇÐ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀ» ±¤¼¶À¯ ¾ÈÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸¸Û ¾ÈÀ¸·Î Á÷Á¢ ÃþÀ¸·Î ½×¾Ò´Ù. ÀÌÁ¦ ±×µéÀÇ »õ·Î¿î ¿¬±¸¿¡¼­, ¿¬±¸ÁøÀº µ¿ÀÏÇÑ °í¾Ð È­ÇÐ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© žçÀüÁö·Î ±â´ÉÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °áÁ¤Áú ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ ¹°Áú¿¡¼­ ±¤¼¶À¯¸¦ ¸¸µå´Â ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. žçÀüÁö´Â ÅÂ¾ç º¹»ç¸¦ Á÷Á¢ÀûÀÎ Àü·ù¿¡³ÊÁö·Î ¹Ù²Ù¾î Àü·ÂÀ» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¤Àü µð¹ÙÀ̽ºÀÌ´Ù.

 

¿¬±¸ÁøÀº ÀڽŵéÀÇ ¸ñÀûÀÌ °í¼º´É ÀüÀÚ±â¼ú ¹× žçÀüÁö ±â´ÉÀ» È®Àå½ÃÄÑ ¼ö¸íÀ» ´Ã¸®°í ´õ À¯¿¬ÇÑ ÇüÅ·Π¸¸µå´Â °ÍÀ̶ó°í ¸»ÇÏ¿´´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌ¹Ì ¸î ¹ÌÅÍ ±æÀÌÀÇ ¼¶À¯¸¦ ¸¸µé¾úÀ¸¸ç, ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î ±×µéÀÇ »õ·Î¿î ¹æ¹ýÀº ±æÀÌ°¡ 10¹ÌÅÍ ÀÌ»óÀÎ ÈÙ ¼ö Àִ žçÀüÁö ¼¶À¯¸¦ Á¦ÀÛÇϴµ¥ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ±ä ¼¶À¯ ±â¹Ý žçÀüÁö´Â ÀÌÀü¿¡´Â ÇÒ ¼ö ¾ø¾ú´ø »õ·Î¿î ÀÀ¿ëÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¿¬±¸ÁøÀº ½Ç¸®ÄÜ ¼¶À¯¸¦ Â¥¼­ Àü·Â »ý»ê, ¹èÅ͸® ÃæÀü, È­ÇÐ ¼¾½Ì ±×¸®°í ¹ÙÀÌ¿À¸ÞµðÄà µð¹ÙÀ̽º¿Í °°Àº ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëÀÌ °¡´ÉÇϵµ·Ï ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í ¸»ÇÏ¿´´Ù.

 

¿¬±¸ÁøÀº ½º¸¶Æ®Æù ¹× ¾ÆÀÌÆеå¿Í °°Àº ÈÞ´ë¿ë ÀüÀÚ ±â¼úÀÇ ÁÖ¿ä ÇÑ °èÁßÀÇ Çϳª´Â ªÀº ¹èÅ͸® ¼ö¸íÀ̶ó°í ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. žçÀüÁö ±â¹Ý ¹èÅ͸®´Â ÀÌ·± ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϴµ¥ µµ¿òÀÌ µÉ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù. žçÀüÁö´Â º¸Åë À¯¸® ¶Ç´Â Çöó½ºÆ½ ±âÆÇÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁö´Âµ¥ ±× À§¿¡ ¼ö¼Òó¸®µÈ ºñÁ¤Áú ½Ç¸®ÄÜÀÌ ¼ºÀåµÈ´Ù°í ¿¬±¸ÁøÀº ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº žçÀüÁö´Â PECVD ¹ÝÀÀ·Î¶ó°í ºÒ¸®´Â ºñ½Ñ Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Á¦ÀÛµÇ¸é ±× °á°ú ¾à°£ À¯¿¬ÇÑ ÆòÆòÇÑ °ÍÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù.

 

±×·¯³ª © ¼ö ÀÖ´Â ¼¶À¯ ±â¹Ý žçÀüÁö´Â °¡º±°í, À¯¿¬ÇÑ ±¸Á¶¸¦ °¡Áö°í À־ ÈÞ´ë °¡´ÉÇÏ°í Á¢À» ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ½ÉÁö¾î ÀÔÀ» ¼öµµ ÀÖ´Ù. ÀÌ·± ¹°ÁúÀº ÀüÀÚ µð¹ÙÀ̽º¿¡ ¿¬°áµÇ¾î ±×°ÍµéÀ» ±¸µ¿ÇÏ°í ¹èÅ͸®¸¦ ÃæÀüÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ±º´ç±¹ÀÌ Èï¹Ì¸¦ °¡Áö°í ÀüÀå¿¡¼­ º´»çµéÀÌ ÀÔÀ» ¼ö ÀÖ´Â Àü·Â ¼Ò½º·Î µðÀÚÀ뵃 ¼ö ÀÖ´ÂÁö¿¡ °ü½ÉÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù°í ¿¬±¸ÁøÀº ¸»ÇÏ¿´´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº žçÀüÁö ¹°Áú¿¡¼­ À¯¿¬ÇÔÀÇ ¶Ç ´Ù¸¥ ÀåÁ¡Àº ¿©·¯ ´Ù¸¥ °¢µµ¿¡¼­ ºû ¿¡³ÊÁö¸¦ ¸ðÀ» ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.

 

º¸Åë ÀüÇüÀûÀΠžçÀüÁö´Â ´ÜÁö ÇÑ °³ÀÇ ÆòÆòÇÑ Ç¥¸é¸¸À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª À¯¿¬ÇÏ°í ÈÙ ¼ö Àִ žçÀüÁö Á÷¹°Àº ºûÀÌ ¾î¶² ¹æÇâ¿¡¼­ ¿À´ÂÁö¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù. ¿µ±¹ÀÇ Southampton ´ëÇÐÀÇ Pier J. A. Sazio´Â ÀÌ·± ½Ç¸®ÄÜ ¼¶À¯ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Èï¹Ì·Î¿î ´Ù¸¥ Ư¡Àº ±×°ÍµéÀÌ Ãà¼ÒµÇ¸é¼­ ·¹ÀÌÀú °¡½Ã±¤¼±¿¡ ¸Å¿ì ºü¸£°Ô ¹ÝÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ̶ó°í ¸»Çß´Ù. ½ÇÁ¦·Î ±×µéÀº ¹êµåÆøÀÌ 1.8 GHzÀÌ ³Ñ´Â Á÷¹° ¼¶À¯ ±â¹Ý ±¤°ËÃ⸦ Á¦ÀÛÇÏ¿´´Ù.

 

÷ºÎ±×¸² 1: žçÀüÁö ±â´ÉÀ» °¡Áø »õ·Î¿î ½Ç¸®ÄÜ ±â¹Ý ±¤¼¶À¯ÀÇ ´Ü¸éµµ À̹ÌÁö. n+, i, ¹× p+À¸·Î Ç¥ÁöµÈ ±¤¼¶À¯ ±¸¸Û¾È¿¡ ÁõÂøµÈ ÃþµéÀÌ º¸ÀδÙ.

÷ºÎ±×¸² 2: Ææ½Çº£ÀÌ´Ï¾Æ ÁÖ¸³´ëÇÐÀÇ ¿¬±¸Áø¿¡ ÀÇÇؼ­ »ý»êµÈ »ç¶÷ ¸Ó¸®Ä«¶ô µÎ²²º¸´Ù ´õ ¾ãÀº, ¹ÌÅÍ ±æÀÌÀÇ Å¾ç ÀüÁö Á¢ÇÕ ¼¶À¯ÀÇ ÄÚÀÏ °¡´Ú.

 

Ãâó : http://phys.org/print273948565.html

 

¼¶À¯·Î ÁöÆó¸¦ ¸¸µç´Ù°í?
±¤Àü¼Û ±â´ÉÀ» ¶Ù¾î³Ñ´Â ³ª³ë¿ªÇÐ ±¤¼¶À¯