Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  • Home
  • Sitemap
  • Contact us

»ê¾÷±â¼úÁ¤º¸

  • Home
  • >
  • Á¤º¸¸¶´ç
  • >
  • »ê¾÷±â¼úÁ¤º¸
Áø°ø Àڿܼ± Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ ³ó»öÈ­
¿¬±¸¼Ò 2013-01-31 16906

 

Áø°ø Àڿܼ± Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ ³ó»öÈ­

 

Áø°øÀڿܼ±À» ÀÌ¿ëÇÑ È¯°æģȭÇü °øÁ¤¿¡ ÀÇÇÑ ¾ç¸ðÁ÷¹°ÀÇ ³ó»öÈ­¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ¿°»ö°øÁ¤ÀÇ Àü󸮷μ­ Áø°ø Àڿܼ±À» Á¶»ç, ¾ç¸ðÀÇ ¼¶À¯ Ç¥¸éÀ» °³ÁúÇØ ¿°·áÀÇ Èí¼ö¸¦ ³ôÀÓÀ¸·Î½á ³ó»öÈ­¸¦ ÇàÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú Áø°ø Àڿܼ±Ã³¸®·Î ¾ç¸ðÁ÷¹°ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ÇöÀúÇÑ Ä£¼ö¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ¶Ç Á÷¹°ÀÇ ÃË°¨À» ¼Õ»ó½ÃÅ°Áö ¾Ê°í ³ó¿°È­¸¦ À§ÇÑ ÃÖÀûó¸® Á¶°ÇÀ» µµÃâÇÏ¿´´Ù. ¿°»ö½Ã°£ ¹× ¿Âµµ¿¡ ´ëÇؼ­µµ ´ÜÃà(Àú¿ÂÈ­)ÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» È®ÀÎ, ½Å±Ô °¡°ø¹æ¹ýÀÇ ³ó¿°È­¿¡ÀÇ À¯È¿¼ºÀ» È®ÀÎÇÏ¿´´Ù.

 

1. ¸Ó¸®¸»

ÃÖ±Ù Áö±¸È¯°æ º¸È£ÀǽÄÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ¾î ȯ°æÀ» ¹è·ÁÇÑ Á¦Ç° Á¦Á¶°¡ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ´Ù. ¼¶À¯¾÷°èµµ ¿¹¿Ü´Â ¾Æ´Ï¾î¼­, ±× Áß¿¡¼­µµ ¿°»ö°¡°ø °øÁ¤¿¡¼­´Â ´ë·®ÀÇ ¹°°ú ¿¡³ÊÁö, ±×¸®°í ¾àÇ°À» »ç¿ëÇϱ⠶§¹®¿¡ ±× ȯ°æºÎÇÏ°¡ ¹®Á¦½Ã µÇ°í ÀÖ´Ù. ¶Ç ¾Æ½Ã¾Æ Á¦±¹À¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¼öÀÔÁ¦Ç°°ú ±âÁ¸ Á¦Ç°°úÀÇ Â÷º°È­¸¦ À§ÇØ ºÎ°¡°¡Ä¡°¡ ³ôÀº ½Å±Ô°¡°ø¹æ¹ýÀÇ °³¹ßÀÌ ¿ä¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. ±× Áß¿¡¼­ ¹°°ú ¾àÇ°À» »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê¾Æ¼­ Æó¾×󸮵µ ÇÊ¿äÇÏÁö ¾Ê´Â °Ç½Ä °øÁ¤¿¡ ÀÇÇÑ °¡°ø±â¼úÀÌ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

±× Çϳª·Î Áø°øÀڿܼ±(ÀÌÇÏ VUV)¿¡ ÀÇÇÑ Ç¥¸é󸮰¡ ÀÖ´Ù. Àڿܼ±Àº ÆÄÀåÀÌ °¡½Ã±¤º¸´Ù ª°í X ¼±º¸´Ù ±ä 10~400nmÀÇ ÝÕ°¡½Ã±¤ÀÌ´Ù. ƯÈ÷ Àڿܼ± Áß¿¡¼­ °¡Àå ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº 10~200nm ºÎ±Ù ¿µ¿ªÀ» VUV·Î ºÎ¸£°í ÀÖ´Ù. VUV´Â ´Ù¾çÇÑ ºÐÀÚ°áÇÕÀ» Çظ® °¡´ÉÇÑ ³ôÀº ¿¡³ÊÁö¸¦ °®°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ÀüÀںо߸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼­ ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ°í, ¾×Á¤ ÆгÎÀÇ ±×¶ó½º ±âÆÇÀÇ ¼¼Á¤°ú Á¥À½¼º Çâ»ó µîÀÇ Ç¥¸é°³Áú¿¡µµ ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.(1, 2).

¼¶À¯ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ Àú¿ÂÇöóÁ³ª Äڷγª ¹æÀüÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °¡°ø±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸µÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª batch ó¸®À̱⠶§¹®¿¡ »ý»ê¼ºÀÌ ³·°í Áø°ø ¹è±â°¡ ÇÊ¿äÇØ ¼öºÐ ÇÔÀ¯·®ÀÌ ¸¹Àº õ¿¬¼¶À¯´Â ÃË°¨ÀÌ ¾ÇÈ­µÇ´Â ¹®Á¦ µîÀ¸·Î ½Ç¿ëÈ­ ¿¹´Â Àû´Ù.

ÀÌ¿¡ ´ëÇØ VUV´Â ´ë±â¾Ð ÇÏ¿¡¼­ÀÇ Ã³¸®°¡ °¡´ÉÇÏ°í, ±¤¿¡ ÀÇÇÑ È­ÇйÝÀÀÀ̱⠶§¹®¿¡ ±ÕÀϼºµµ ³ô´Ù. EH °¡½Ã±¤°ú Àû¿Ü¼±ÀÌ ºñ±³Àû Àû±â ¶§¹®¿¡ ¿­ ¹ß»ýÀÌ ¾ïÁ¦µÇ¾î Àú¿Âó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­ ¼¶À¯ÀÇ ¼Õ»óµµ Àû¾î Á÷¹°ÀÇ ÃË°¨À¯Áö¸¦ ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¿©±â¼­´Â VUV¸¦ ¾ç¸ð¼¶À¯¿¡ Á¶»çÇÔÀ¸·Î½á ¼¶À¯ Ç¥¸éÀ» °³ÁúÇÏ°í ±× È¿°ú¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÔ°ú ÇÔ²² ¿°»ö¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Â °ÍÀ» ½ÃµµÇÏ¿´´Ù.

 

2. ½ÇÇè¹æ¹ý

2.1 »ç¿ë½Ã·á

½ÇÇè¿ë ¾ç¸ð´Â wool tropicalÀ» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. Á÷¹° ±Ô°ÝÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù.

»ç¿ë ¿ø»ç : °æÀ§ ¼Ò¸ð»ç 2/60

¹Ðµµ : Á¾ 274/10cm, Ⱦ 228/10cm

 

2.2 VUV Á¶»ç

¾ç¸ðÁ÷¹°¿¡ÀÇ VUV Á¶»ç¿¡´Â Å°¼¼³í¿¢½Ã¸¶ ·¥ÇÁ(Model : MEBF 380BQ, ÆÄÀå 172nm, ±¤ °­µµ 50mW/§² ÀÌ»ó(¸ÞÀÌÄ¿ °øĪ °ª), (ÁÖ)¿¥µð ¿¢½Ã¸¶)¸¦ žÀçÇÑ VUV Á¶»çÀåÄ¡(3)¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿´´Ù.

½Ã·á¸¦ žÇØÇÑ stage¸¦ ÆÔÇÁ ÇϺο¡ ¿Õº¹ À̵¿½ÃÄÑ, ÀÏÁ¤½Ã°£ ·¥ÇÁ¸¦ Á¡µîÇÔÀ¸·Î½á ½Ã·á¿¡ VUV¸¦ Á¶»çÇÏ¿´´Ù. Á¶»ç°Å¸®´Â 1mm¿´´Ù.

 

2.3 ¿°»öÁ¶°Ç

¿°·á ¹× Á¶Á¦´Â ½ÃÆÇ »ê¼º¿°·á¿Í ½Ã¾à, ¿°»ö±â´Â mini color(ÁÖ, ÅØ»ï±â¿¬) ¹× color path(ÀϺ»¿°»ö±â°è)¸¦ »ç¿ëÇÏ¿´´Ù.

±âº» ¿°»öÁ¶°ÇÀ¸·Î¼­´Â, ¿°·á³óµµ 1%o.w.f., ¿åºñ 1:40, ½Â¿ÂÁ¶°Ç 40¡É 10ºÐ°£ À¯ÁöÇÑ ÈÄ 10¡É±îÁö ½Â¿ÂÇÏ¿´´Ù. ±× ÈÄ 100¡É¿¡¼­ 30ºÐ°£ À¯ÁöÇÏ¿´´Ù.

 

2.4 ¼öÀû Á¢ÃË°¢

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤ÀåÄ¡(DropMaster 501, úðûù°è¸é°úÇÐ)À¸·Î ¼öÀû ÀûÇÏ 5ÃÊ ÈÄÀÇ Á¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ¼öÀû ÀûÇÏ·®Àº 4§¡·Î ÇÏ¿´´Ù.

 

2.4 Ç¥¸é°üÂû

¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ Ç¥¸é°üÂûÀº ÁÖ»çÇü ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(JSM-T330, ìíÜâÀüÀÚ)·Î, °¡¼ÓÀü¾Ð 5kV, ÃøÁ¤¹èÀ² 3000¹è·Î ÇÏ¿´´Ù.

 

2.5 ±ÁÈû Ư¼º

±ÁÈû °­¼ºÀÇ ÃøÁ¤¿¡´Â KES-F ½Ã½ºÅÛ(KATOTECH,ÁÖ)¸¦ »ç¿ëÇØ ±ÞÈû °­¼º(B) ¹× (2HB)¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù.

 

2.6 ¹é»öµµ

ºÐ±¤Ãø»ö°è(CM3600d, ÄÚ´ÏÄ«¹Ì³îŸ)·Î ¾ç¸ðÁ÷¹°ÀÇ ¹é»öµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ¹é»öµµ´Â JIS L 0803ÀÇ WI·Î Ç¥±âÇÏ¿´´Ù.

 

2.7 ¿°»ö¼º

ºÐ±¤Ãø»ö°è·Î K/S ¹× »öÂ÷(¥ÄEab)¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. K/S´Â 400~700nmÀÇ ÆÄÀ念¿ªÀ» ÃøÁ¤ÇØ ÃÖ´ë Èí¼öÆÄÀÇ °ªÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿´´Ù.

 

2.8 ¿°·áÈíÁøÀ²

¿°¾×ÀÇ ÈíÁøµµ(Abs)¸¦ ºÐ±¤Ãø»ö°è·Î ÃøÁ¤, ¿°·á ÈíÁøÀ²À» ±¸ÇÏ¿´´Ù. Èí±¤µµ ¹× ÃÖ´ë Èí¼öÆÄÀåÀÇ °ªÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿´´Ù.

¥ÄX = (X1-X2) / X1¡¿100

¥ÄX : ¿°·á ÈíÁøÀ²(%)

X1 : ¿°»ö Àü Èí±¤µµ

X2 : ¿°»ö ÈÄ Èí±¤µµ

 

2.9 ³»±¤°ß·Úµµ

¿°»ö ÈÄÀÇ ¾ç¸ðÁ÷¹°ÀÇ ³»±¤°ß·Úµµ´Â JIS L 0842 Á¦ 3 ·Î±¤¹ýÀ¸·Î 4±Þ Á¶»ç½ÃÇèÀ» ÇàÇÏ¿´´Ù.

 

3. ½ÇÇè°á°ú ¹× °íÂû

3.1 ¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ Ç¥¸éÀ» °³ÁúÇϱâ À§ÇØ VUVÀÇ Á¶»ç½Ã°£ ¹× Á¶»ç¼Óµµ¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ¿ì¼± óÀ½¿¡ ½Ã±³¸¦ ·¥ÇÁ ÇÏ¿¡¼­ Á¤ÁöÇÑ »óÅ¿¡¼­, Ä£¼öÈ­¿¡ °É¸®´Â 󸮽ð£À» °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú ¹Ìó¸® ½Ã·áÀÇ ¼öÀûÁ¢ÃË°¢Àº 140¡Æ¿´À¸³ª 2ºÐ °£ VUV¸¦ Á¶»çÇÔÀ¸·Î½á ¼ö Á¢ÃË°¢Àº 0¡Æ°¡ µÇ¾î ¼¶À¯ Ç¥¸éÀÌ Ä£¼öÈ­ µÇ¾ú´Ù.À̾î, ½Ã·á¸¦ ÀÏÁ¤ ¼Óµµ·Î ¿òÁ÷À̸鼭 Á¶»çÇßÀ» ¶§ÀÇ Ä£¼öÈ¿°ú¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 1°ú °°´Ù. ½Ã·á¸¦ Á¤ÁöÇÑ »óÅ¿¡¼­ Á¶»çÇÑ °æ¿ìº¸´Ù Ä£¼öÈ­ È¿°ú¸¦ ¾ò±â¿¡´Â ½Ã°£ÀÌ °É¸°´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë¾Ò´Ù. ¼öÀû Á¢ÃË°¢ÀÌ 0¡Æ°¡ µÇ±â À§Çؼ­´Â 3.6cm/min¡¿20ºÐ ÀÌ»óÀÇ Ã³¸®°¡ ÇÊ¿äÇÏ¿´´Ù.

µû¶ó¼­ ÀÌÈÄ VUV ó¸® Á¶°ÇÀº Á¶»ç¼Óµµ 3.6cm/min, Á¶»ç½Ã°£ 20ºÐÀ¸·Î ¿°»ö¼º °ËÅ並 ÁøÇàÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.

 

±×¸² 1 VUV ó¸®Á¶°Ç°ú ¼ö Á¢ÃË°¢

 

3.2 ó¸® ½Ã·áÀÇ Æ¯¼ºÆò°¡

VUV 󸮷Π¾ò¾îÁø Ä£¼öÈ¿°úÀÇ °æ½Ãº¯È­¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. 󸮽÷áÀÇ ¼öÀû Á¢ÃË°¢À» VUV Á¶»ç Á÷ÈķκÎÅÍ 30ÀÏ ÈıîÁö ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. VU 󸮴 Á¶»ç½Ã°£ 2ºÐÀ¸·Î ÇàÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 2¿Í °°´Ù. Á¶»ç Á÷¼ö 0¡Æ¿´´ø Á¢ÃË°¢Àº ½Ã°£ÀÌ Áö³ª¸é¼­ Å©°Ô µÇ¾î, Ä£¼öÈ¿°ú´Â Á¡Â÷ ÀúÇÏÇØ, Á¶»ç ÈÄ 1½Ã°£ ¸¸¿¡ ¼öÀû Á¢ÃË°¢ÀÌ °¡Àå Å©°Ô º¯ÇÏ¿´°í, ±× ÈÄ °ÅÀÇ ÀÏÁ¤Çϳª, ¹Ìó¸® °ª±îÁö´Â µµ´ÞÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù. µû¶ó¼­ VUV Á¶»ç ÈÄ 1ÁÖÀÏ À̳»¿¡ ¿°»öÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÒ °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.

VUV ó¸® ÈÄ ¾ç¸ð¼¶À¯ Ç¥¸éÀÇ SEM »çÁøÀº ±×¸² 3°ú °°´Ù. VUV 󸮴 Á¶»ç ¼Óµµ¿Í Á¶»ç½Ã°£ 3.6cm/min¡¿20ºÐÀÇ ¼Óµµ¿Í ·¥ÇÁ ÇÏ¿¡¼­ Á¤ÁöÇÑ ´ë·Î 15ºÐ°£ Á¶»çÀÇ µÎ °¡Áö Á¶°ÇÀ¸·Î ÇàÇÏ¿´´Ù. ¹Ìó¸® ½Ã·áÀÇ Ç¥¸éÀº ÆòÈ°Çϳª VUV Á¶»ç·Î ¼¶À¯ Ç¥¸é¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ ¿äöÀÌ º¸¿©, Ç¥¸é»óÅ°¡ º¯È­ÇÑ °ÍÀÌ °üÂûµÇ¾ú´Ù. b)¿¡¼­´Â ¼¶À¯ Ç¥¸éÀÌ ºÎºÐÀûÀ¸·Î ¿äöÀÌ º¸ÀÌ´Â Á¤µµÀ̳ª, c)¿¡¼­´Â ½ºÄÉÀÏ Àüü¿¡ ÀÛÀº ±¸¸ÛÀÌ ¿­¸° °Í°°ÀÌ Ç¥¸éÀÌ °ÝÇÏ°Ô °ÅÄ¥¾îÁ® ÀÖ´Â ¸ð¾çÀÌ °üÂûµÇ¾ú´Ù. ÀÌ°á°ú·ÎºÎÅÍ Ã³¸®Á¶°Ç¿¡ µû¶ó etching È¿°úµµ ÀÖ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÇÑÆíÀ¸·Î, ¼¶À¯ÀÇ °­µµÀúÇÏ µîÀÇ ¹°¼ºº¯È­¿¡ ÀÇÇÑ ¼Õ»óµµ ¿ì·ÁµÇ¾ú´Ù.

±ÁÈû °­¼º ÃøÁ¤°á°ú´Â ±×¸² 4¿Í °°´Ù. VUV ó¸®ÀÇ Á¶»ç¼Óµµ´Â 3.6cm/min·Î ÇàÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú 󸮽ð£ÀÌ 30ºÐÀÌ µÇ¸é ¹Ì󸮿¡ ºñÇØ 2HB °ªÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í ±ÁÈû¿¡ ´ëÇÑ È¸º¹¼ºÀÌ ÀúÇÏÇÏ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

JIS L 0803¿¡ ÀÇÇÑ WI¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú´Â ±×¸² 5¿Í °°´Ù. VUV 󸮷Π¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ ¹éµµ´Â ÀϽÃÀûÀ¸·Î Çâ»óÇϳª ÀÏÁ¤ÇÑ Ã³¸®Á¶°Ç(½Ã°£ ¹× ¼Óµµ)À» ³ÑÀ¸¸é ÀúÇÏÇÏ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. À̹ø¿¡ °ËÅäÇÑ Ã³¸®Á¶°Ç¿¡¼­´Â Á¶»ç°Å¸® 1mm, 3.6cm/min¡¿30ºÐ¿¡¼­µµ ¹Ìó¸® ½Ã·á¿Í µ¿µîÀÇ °ªÀÌ µÇ¾ú´Ù.

±×¸² 3 SEM »çÁø

 

 

±×¸² 4 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ±ÁÈû°­¼º º¯È­

 

3.3 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ³óµµÈ¿°ú

VUV ó¸®ÇÑ ½Ã·á¸¦ »ê¼º milling ¿°·á(KNM Blue GW), »ê¼º half milling ¿°·á (Kayacy; Blue HRL), »ê¼º leveling ¿°·á(KN Blue N2G), »ê¼º ÇԱݿ°·á(KK Grey BL 167)·Î ¿°»öÇÏ¿´´Ù.

¿°»ö½Ã·áÀÇ K/S ¹× ¥ÄEab¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú´Â ±×¸² 6°ú Ç¥ 1°ú °°´Ù. ¿°·á¿¡ ÀÇÇÑ ³ó»öÈ¿°ú¿¡ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖÀ¸³ª, °¡Àå º¯È­°¡ Å« °ÍÀº milling ¿°·á·Î, 24% Á¤µµ, ¹Ìó¸® ½Ã·á¿¡ ºñÇØ K.S °ªÀÌ Áõ°¡ÇÏ¿´´Ù. ¶Ç »öÂ÷ ¥ÄEab´Â milling/leveling/ÇÔ±Ý>half millingÀÇ ¼øÀ¸·Î Å« Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ¾ú´Ù. ¸ðµç ¿°·á ¸ðµÎ »öÂ÷°¡ È®ÀÎµÇ¾î ¥ÄEab=0.5 ÀÌ»óÀ̾ú´Ù.

¹Ìó¸® ½Ã·á¿Í VUV 󸮽÷áÀÇ ¿°»ö°³½Ã ¶§ºÎÅÍ Á¾·á½Ã±îÁöÀÇ °¢ ¿°·áÀÇ ÈíÁøÀ²À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 7°ú °°´Ù. ¸ðµç ¿°·á¿¡¼­ Ãʱ⠴ܰè(¿°»ö°³½ÃºÎÅÍ 40ºÐ)¿¡ ÈíÁøÀ²¿¡ Â÷À̸¦ º¸¿©, VUV 󸮷Π¿°·áÀÇ ÈíÁø ¼Óµµ°¡ »¡¶óÁ³À½À» ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

VUV 󸮰¡ ¿°»öÁ¶°Ç¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇϱâ À§ÇØ ¿°»ö¿Âµµ¿Í ¿°»ö½Ã°£À» º¯È­½ÃÄÑ ¿°»öÇÑ ¾ç¸ð½Ã·áÀÇ K/S °ªÀ» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 8°ú °°´Ù. ¿°»ö¿Âµµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï K/S °ªÀÌ Ä¿Á® ¹Ìó¸® ½Ã·á¿ÍÀÇ Â÷À̵µ Ä¿Á³´Ù. ¶Ç ¿°»ö½Ã°£Àº ±æ¼ö·Ï K/S °ªÀÌ Ä¿Á® 100¡¿60ºÐ¿¡¼­ ¹Ìó¸® ½Ã·á¿¡ ´ëÇØ K/S °ªÀÌ 30% ÀÌ»ó Áõ°¡ÇÏ¿´´Ù.

VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ È²º¯¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀÌ ¿°·áµÇ³ª, ¹Ìó¸®¿Í ó¸® ½Ã·áÀÇ ¿°»ö ÈÄÀÇ Lab °ªÀ» ºñ±³ÇØ º¸¸é, Á¶»ç°Å¸® 1mm, 36cm/ºÐÀÇ Ã³¸® Á¶°Ç¿¡¼­´Â Ȳº¯¿¡ ÀÇÇÑ ¿°»ö ¿µÇâÀº ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù(±×¸² 9).

¶Ç Àڿܼ± Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ °ß·Úµµ ÀúÇÏ°¡ ¿°·ÁµÇ¾î, 󸮽÷áÀÇ ³»±¤ °ß·Úµµ ½ÃÇèÀ» ÇàÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú ´ëºÎºÐÀÇ ¿°·á°¡ ¹Ìó¸® ½Ã·á¿¡ ºñÇØ ¼Õ»öÀÌ ¾øÀÌ µ¿µîÀÇ ¼º´ÉÀÌ È®ÀεǾú´Ù. ÀÌ °á°ú·ÎºÎÅÍ À̹ø¿¡ °ËÅäÇÑ Ã³¸®Á¶°Ç¿¡¼­´Â VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ¿µÇâÀº ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÇ¾ú´Ù.

±×¸² 5 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÌÇÑ ¾ç¸ð¼¶À¯ÀÇ È²º¯

 

±×¸² 6 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ³ó¿°È¿°ú

 

±×¸² 8 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ ¿°»öÁ¶°Ç¿¡ÀÇ ¿µÇâ

 

±×¸² 9 VUV Á¶»ç¿¡ ÀÇÇÑ »ö»ó¿¡ÀÇ ¿µÇâ

 

4. °á·Ð

VUV¸¦ ¾ç¸ðÁ÷¹°¿¡ Á¶»çÇØ ¼¶À¯Ç¥¸éÀ» °³ÁúÇÏ°í ³ó¿°È­ ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. VUV Á¶»ç·Î ¾ç¸ðÀÇ ¼¶À¯Ç¥¸é¿¡ ÇöÀúÇÑ Ä£¼ö¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Í, ¶Ç etching È¿°ú°¡ ¾ò¾îÁø´Ù´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÏ¿´´Ù. ±×¸®°í ¿°»ö°øÁ¤ÀÇ Àü󸮷Π¾ç¸ðÁ÷¹°¿¡ VUV¸¦ Á¶»çÇÔÀ¸·Î½á ³ó¿°È­ ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ¶Ç ³ó¿°È­Çϱâ À§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ Àüó¸® Á¶°ÇÀ» µµÃâ, 100¡É¡¿60ºÐÀ¸·Î ¿°»öÇÔÀ¸·Î½á K/S °ªÀ» ¹Ìó¸® ½Ã·áÀÇ 30% ÀÌ»ó Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ ¿¬±¸ °á°ú·ÎºÎÅÍ ¿°·á¿Í ¼öÁö µîÀÇ ¾àÁ¦¸¦ ´ë·® »ç¿ëÇÏ´Â ±âÁ¸ÀÇ ¿°»ö°¡°ø ±â¼úÀ» ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú·Î ģȯ°æÀûÀÎ ¿°»ö°¡°ø±â¼ú·Î¼­ VUVÀÇ À¯È¿¼ºÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

  

 

±×¸² 7 VUV 󸮽÷áÀÇ ¿°·á ÈíÁøÀ²

 

  

 

Âü°í¹®Çå

 

 

Ãâó : õ½ïÌÚ¸ÜÁ ¿Ü 2ÀÎ(Ú­íå繊ë«Ðüâú«»«ó«¿ー Ê¥ÍïÐüâúãø)/äñò±県»ê¾÷±â¼ú¿¬±¸¼Ò ¿¬±¸º¸°í 2011. 12

 

   

 

 

 

 

 

 

°­Ã¶º¸´Ù 15¹è³ª °­ÇÑ ½Ç¸®Ä« ³ª³ë¼¶À¯
¾ç¸ð¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ ´Ü¹éÁú°è ¼¶À¯ÀÇ Àú ȯ°æºÎÇÏ ¿°»ö±â¼ú