Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  • Home
  • Sitemap
  • Contact us

»ê¾÷±â¼úÁ¤º¸

  • Home
  • >
  • Á¤º¸¸¶´ç
  • >
  • »ê¾÷±â¼úÁ¤º¸
ÀÚ±â Á¶Á÷È­ ´ÜºÐÀÚ¸·(SAM) Çü¼º±â¼ú¿¡ ÀÇÇÑ ±â´É¼º Á÷¹° °³¹ß
¿¬±¸¼Ò 2011-07-17 10953

ÀÚ±â Á¶Á÷È­ ´ÜºÐÀÚ¸·(SAM) Çü¼º±â¼ú¿¡ ÀÇÇÑ ±â´É¼º Á÷¹° °³¹ß

ß´ÜâセÏþѺ£ª 1¡¢ÑÑߣúçö½£ª 2¡¢õ½ïÌÚ¸ÜÁ£ª 1¡¢ÑÎõ½ 뮣ª 1

<Takanori SUGIMOTO*1,Kenji KANAYAMA*2,Miho MURAI*1and Hiroshi YOSHIMURA*1>

£ª1 Ú­íå繊ë«Ðüâú«»«ó«¿ー Ê¥ÍïÐüâúãø£ª2 Ú­íå繊ë«Ðüâú«»«ó«¿ー Ê¥ÍïÐüâúãø£¨úÞß²ùÁ繊ë«Ðüâú«»«ó«¿ー ËÒ発Ðüâúãø

<Owari Textile Research Center, AITEC*1*2>

º» ¿¬±¸¿¡¼­´Â ³ª°í¾ß ´ëÇÐ ÍÔïÌ(Ÿ±îÀÌ)±³¼ö·ÎºÎÅÍÀÇ ±â¼ú ¿ä±¸ ¡°ÀÚ±â Á¶Á÷È­ ´ÜºÐÀÚ ¸·(SAM) Çü¼º±â¼ú¡±(1~3)À» È°¿ëÇØ, Á÷¹°¿¡ÀÇ ±â´É¼º ³ª³ëºÐÀÚ¸· Çü¼º±â¼ú¿¡ °üÇÑ °³¹ßÀ» ÇàÇÏ¿´´Ù. Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ Àü󸮷ΠÁø°øÀڿܱ¤(VUV)À» Á¶»çÇØ Ç¥¸éÀ» È°¼ºÈ­ ½ÃÄÑ SAM Çü¼ºÀç·áÀÎ octadecyltrimethylsilane (ODS)¿ÁŸµ¥½Ç Æ®¸®¸ÞÅå½Ã ½Ç¶õ ¹× ºÒÈ­ ¾Ëų½Ç¶õ(FAS)¸¦ ¿­È­ÇÐ ÁõÂø(CVD)ÇÏ¿´´Ù. À̷μ­ ¼Ò¼ö¼º °ü´É±â·ÎºÎÅÍ ³ª³ë¼ººÐ¸·À» Á÷¹°Ç¥¸é¿¡ °íÁ¤½ÃÅ´À¸·Î¼­ ¹ß¼ö¼º°ú ¹ßÀ¯¼º ±â´ÉÀ» ºÎ¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ±× °á°ú ¼öÀû Á¢ÃË°¢ 130¡Æ ÀÌ»ó, n-hexadecane Á¢ÃË°¢ 120¡Æ°¡ ¾ò¾îÁ® ½Å±Ô°¡°ø¹ýÀÇ À¯È¿¼ºÀ» ÀÔÁõÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

1. ¸Ó¸®¸»

Á÷¹°¿¡ ¹ß¼ö¼º°ú ¹ßÀ¯¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â ±â´É°¡°øÀº ÀÇ·ùºÐ¾ß¿¡¼­ ½ÃÀå ¿ä±¸°¡ ¸¹¾Æ ³Î¸® ÇàÇØÁö°í ÀÖ´Ù. ±× Áß¿¡¼­ ±âÁ¸ÀÇ ¼¶À¯Á¦Ç°°ú Â÷º°È­¸¦ À§ÇØ ¹ß¼ö¿Í ¹æ¿À¼º µî¿¡ ´õ¿í °í±â´É¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â ±â¼ú °³¹ßÀÌ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ´Ù.

À۳⵵ ´ç ¼¾ÅÍ¿¡¼­´Â ¡°Ãʹ߼ö¼º ³ª³ëºÐÀÚ Á÷¹°ÀÇ °³¹ß¡±À» ½ÃÇà, ÀÚ±â Á¶Á÷È­ ´ÜºÐÀÚ¸·(SAM) Çü¼º±â¼úÀ» È°¿ëÇØ ¼Ò¼ö¼º °ü´É±â·ÎºÎÅÍ Çü¼ºµÇ´Â ³ª³ë¼öÁØÀÇ ºÐÀÚ¸·À» Á÷¹° Ç¥¸é¿¡ °áÇÕ½ÃÄÑ ³»±¸¼º°ú ÃË°¨À» °®´Â ÃÊ ¹ß¼ö¼º Á÷¹°ÀÇ °³¹ßÀ» ¼öÇàÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú ÃÊ ¹ß¼ö¼º¿¡ °¡±î¿î ¼öÀû Á¢ÃË°¢ÀÌ ¾ò¾îÁ®, »õ·Î¿î ¹ß¼ö°¡°ø¹æ¹ýÀ¸·Î À¯È¿¼ºÀÌ È®ÀεǾú´Ù.

º» ¿¬±¸¿¡¼­´Â À۳⵵ÀÇ ¿¬±¸¼º°ú¸¦ È°¿ë, ¹ß¼ö¿Í ¹ßÀ¯±â´ÉÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â »õ·Î¿î Á÷¹°°¡°øÀÇ ÃÖÀû Á¶°Ç µîÀ» °ËÅä, ½Ç¿ëÈ­ °¡´É¼º¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù.

2. ½ÇÇè¹æ¹ý

2.1 Áø°ø Àڿܼ±(VUV) Á¶»ç

SAMÀ» Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ °íÂø½ÃÅ°±â À§ÇØ Àü󸮷Πxenon excimer lamp(Medel : MEBF-380BQ, ÆÄÀå 172nm, ±¤°­µµ 50mW/§² ÀÌ»ó(¸ÞÀÌÄ¿ °øĪ°ª, (ÁÖ)¿¥µð¿¢½Ã¸¶Á¦)¸¦ žÀçÇÑ VUV Á¶»çÀåÄ¡(3)(ÁÖ)¿¡´©°ø¹æ)À» »ç¿ëÇÏ¿´´Ù(±×¸²1).½Ã·á¸¦ žÀçÇÑ ½ºÅ×ÀÌÁ ·¥ÇÁ ÇϺο¡ À̵¿ÇÑ ÈÄ ÀÏÁ¤½Ã°£ ·¥ÇÁ¸¦ Á¡µîÇÔÀ¸·Î¼­ ½Ã·á¿¡ VUV¸¦ Á¶»çÇÏ¿´´Ù.

2.2 ¿­È­ÇÐ ÁõÂø(CVD) ó¸®

2.2.1 SAM Çü¼ºÀç·á ¹× Ã˸Å

SAM Çü¼º¿¡ ÀÌ¿ëÇÑ ½Ç¶õÈ­ÇÕ¹°Àº Çϱâ¿Í °°´Ù.

-Octadecyletrimethoxysilane(ODS : μÔÔÈ­ÇÐ)

-Trifluoropropyl trimethoxysilane(FAS3 : ãáêÆÈ­ÇÐ)

-1H, 1H, 2H, 2H,-perfluoroocthyltrimethoxysilane(FAS13 : ûúÎÃÈ­ÇÐ)

-Heptadecafluoro-1,1,2,2,-tetrahydrodecyltrimethoxysilane(FAS17 : Gelest)

¶Ç ODS¸¦ ÀÌ¿ëÇßÀ» ¶§ÀÇ Ã˸ŷΠtitanium trimethylsiloxide(Gelest »ç)¸¦ Èñ¼®ÇØ »ç¿ëÇÏ¿´´Ù.

2.2.2 ¿­ CVD ó¸®

VUV ó¸®ÇÑ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°°ú SAM Çü¼ºÀç·á¸¦ ³ÖÀº ¿ë±â¸¦ ¼ÒÁ¤ÀÇ ¿Âµµ·Î °¡¿­ÇÑ ¿­Ã³¸®ÀåÄ¡¿¡ ³Ö¾î ÀÏÁ¤½Ã°£ ó¸®ÇÏ¿´´Ù.

2.3 Á¢ÃË°¢

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤ÀåÄ¡(DropMaster-501 úðûú°è¸é°úÇÐ(ÁÖ))¿¡ ÀÇÇØ Á¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ¹ß¼ö¼ºÀº ¼ø¼ö, ¹ßÀ¯¼ºÀº n-hexadexcaneÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿´´Ù.

2.4 Æú¸®¿¡½ºÅÍ ¼¶À¯ÀÇ Ç¥¸é°üÂû

¿øÀÚ°£·Â Çö¹Ì°æ(AFM : XE-100 ÆÄ-Å©½Ã½ºÅÛÁî »ç)À¸·Î Æú¸®¿¡½ºÅÍ ¼¶À¯ÀÇ Ç¥¸éÀ» °üÂûÇÏ¿´´Ù.

2.5 ¹é»öµµ

ºÐ±¤Ãø»ö°è(CM3600d ÄÚ´ÏÄ«¹Ì³îŸ ¼¾½Ì(ÁÖ))·Î Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ ¹é»öµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ¹é»öµµ´Â JIS Z 8715ÀÇ WI·Î ³ªÅ¸³Â´Ù.

Àç·á

100% Æú¸®¿¡½ºÅÍ

¸éÀû

5cm¡¿5cm

VUV Á¶»ç½Ã°£

5, 10, 20, 30ºÐ

VUV Á¶»ç°Å¸®

3.5, 13mm

CVD ¿­Ã³¸®Á¶°Ç

150¡É ¡¿ 50ºÐ

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤

¼öÀû4§¡․ÀûÇÏ 5ÃÊ ÈÄ

3. ½ÇÇè°á°ú ¹× °íÂû

3.1 VUV ó¸®Á¶°Ç °ËÅä

Àüó¸® Á¶°ÇÀ» ÃÖÀûÈ­Çϱâ À§ÇØ VUVÀÇ Á¶»ç°Å¸® ¹× Á¶»ç½Ã°£À» °ËÅäÇÏ¿´´Ù. Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ VUV ó¸® ÈÄ ODS¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ ¿­ CVD 󸮸¦ ÇàÇØ Ã³¸®Æ÷ÀÇ ¼öÀûÁ¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ó¸®Á¶°ÇÀº Ç¥1, °á°ú´Â Ç¥2¿¡ ÀÖ´Ù.

Á¶»ç½Ã°£ÀÌ ±æ¼ö·Ï, ¶Ç Á¶»ç°Å¸®°¡ ªÀ»¼ö·Ï ¼öÀû Á¢ÃË°¢Àº Ä¿Áö´Â °æÇâÀÌ º¸¿´´Ù. Á¶»ç°Å¸®°¡ 13mmÀÇ °æ¿ì 20ºÐ ÀÌ»ó Á¶»çÇÏ¸é ¼öÀûÁ¢ÃË°¢ÀÌ 140¡Æ °¡±îÀÌ µÈ´Ù. ¶Ç Á¶»ç°Å¸®¸¦ 3.5mm·Î Çϸé Á¶»ç½Ã°£ 10ºÐ¿¡¼­ Á¶»ç°Å¸® 13mm, Á¶»ç½Ã°£ 20ºÐ°ú °ÅÀÇ µ¿µîÀÇ ¼öÀûÁ¢ÃË°¢ÀÌ ¾ò¾îÁöÁö ¶§¹®¿¡ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ Á¶»çÇÏ´Â VUVÀÇ Á¶»çÁ¶°ÇÀº Á¶»ç°Å¸® 3.5mm, Á¶»ç½Ã°£ 10ºÐ ÀÌ»óÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë¾Ò´Ù. ÀÌÈÄ VUV Àüó¸®Á¶°ÇÀ» Á¶»ç°Å¸® 3.5mm, Á¶»ç½Ã°£ 10ºÐÀ¸·Î ½ÇÇèÇÏ¿´´Ù.

3.2 Á÷¹°¿¡ÀÇ ¹ß¼ö¼º ºÎ¿©¸¦ À§ÇÑ °¡°øÁ¶°Ç ÀÇ ÃÖÀûÈ­

3.2.1 ¿­(CVD) ó¸®Á¶°ÇÀÇ °ËÅä

Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ ¹ß¼ö¼ºÀ» ºÎ¿©Çϱâ À§ÇØ ODS¸¦ ÀÌ¿ë, ¿­Ã³¸®½Ã°£ ¹× ¿­Ã³¸® ¿Âµµ¸¦ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ó¸®Á¶°ÇÀº Ç¥2, °á°ú´Â ±×¸² 3¿¡ ÀÖ´Ù.

±× °á°ú 󸮽ð£ÀÌ ±æ¼ö·Ï, ¶Ç 󸮿µµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï ¼öÀû Á¢ÃË°¢Àº Ä¿Áö´Â °æÇâÀ» º¸¿´´Ù. 󸮿µµ 150¡É, 󸮽ð£ 90ºÐ ¶Ç´Â 󸮿µµ 200¡É, 󸮽ð£ 60ºÐ¿¡¼­ ¼öÀû Á¢ÃË°¢ 130¡Æ ÀÌ»óÀÌ ¾ò¾îÁ³´Ù.

¿ª½Ã 󸮿µµ 100¡É, 󸮽ð£ 60ºÐ, ¶Ç 󸮿µµ 150¡É, 󸮽ð£ 10ºÐÀÇ Á¶°Ç¿¡¼­µµ µ¿µîÀÇ ½ÃÇèÀ» ÇàÇÏ¿´À¸³ª, ¸ðµÎ ¼öÀûÀÌ Á÷¹°¿¡ ħÅõÇØ ¹ö·È´Ù. ÀÌ´Â CVD 󸮰¡ ºÒÃæºÐÇؼ­ SAMÀÌ ÃæºÐÈ÷ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê¾Ò±â ¶§¹®¿¡ Á÷¹°Ç¥¸éÀÌ VUV·Î Ä£¼öÈ­µÈ »óÅ°¡ µÈ °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.

3.2.2 Ã˸ſ¡ ÀÇÇÑ ¹ß¼ö¼º Çâ»ó °ËÅä

ODSÀÇ È¿À²À» ³ôÀ̱â À§ÇÑ ½ÇÇèÀ¸·Î, Ã˸Ÿ¦ »ç¿ëÇØ SAM Çü¼º¿¡ Ã˸Ű¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ¿¡ ´ëÇØ °ËÅäÇÏ¿´´Ù. ½ÃÇèÁ¶°ÇÀº Ç¥3, °á°ú´Â ±×¸²4¿Í °°´Ù. ±×¸²4ÀÇ spray ¹ý¿¡¼­´Â VUV ó¸®ÇÑ ½Ã·á¿¡ Ã˸Ÿ¦ spray·Î ºÐ¹«ÇØ CVD 󸮸¦ ÇàÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

Àç·á

100% Æú¸®¿¡½ºÅÍ

¸éÀû

5cm¡¿5cm

CVD ¿­Ã³¸®¿Âµµ

150, 180, 200¡É

CVD ¿­Ã³¸®½Ã°£

30, 60, 90ºÐ

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤

¼öÀû4§¡․ÀûÇÏ 5ÃÊ ÈÄ

Àç·á

100% Æú¸®¿¡½ºÅÍ

¸éÀû

5cm¡¿5cm

CVD ¿­Ã³¸®¿Âµµ

100, 120, 150¡É

CVD ¿­Ã³¸®½Ã°£

60ºÐ

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤

¼öÀû4§¡․ÀûÇÏ 5ÃÊ ÈÄ

3.2.3 FAS¿¡ ÀÇÇÑ ¹ß¼ö¼º´É

SAM Çü¼º ¿ø·á¿¡ FAS¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¿­ CVD¸¦ ÇàÇØ Ã³¸®Æ÷ÀÇ ¼öÀûÁ¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤, ±× ¹ß¼ö¼ºÀ» Æò°¡ÇÏ¿´´Ù. ½ÃÇèÁ¶°ÇÀº Ç¥4, °á°ú´Â ±×¸²5¿Í °°´Ù.

±× °á°ú ¼öÀûÁ¢ÃË°¢ÀÌ 130¡Æ ÀÌ»ó ¾ò¾îÁ®, ¹ß¼ö±â´ÉÀÌ ºÎ¿©µÇ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÏ¿´´Ù. ¶Ç FAS13 ¹× FAS17¿¡¼­ 120¡ÉÀ̻󿡼­ 60ºÐ°£ CVD ó¸®ÇÏ¸é ¼öÀûÁ¢ÃË°¢Àº 140¡Æ ÀÌ»óÀ¸·Î, ODSº¸´Ù ³ôÀº È¿°ú°¡ ¾ò¾îÁø´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë¾Ò´Ù.

Àç·á

100% Æú¸®¿¡½ºÅÍ

¸éÀû

5cm¡¿5cm

CVD ¿­Ã³¸®¿Âµµ

100, 120, 150¡É

CVD ¿­Ã³¸®½Ã°£

60ºÐ

Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤

¼öÀû4§¡․ÀûÇÏ 5ÃÊ ÈÄ

3.3 Á÷¹°¿¡ÀÇ ¹ßÀ¯¼º ºÎ¿©¸¦ À§ÇÑ °¡°øÁ¶°ÇÀÇ °ËÅä

3.3.1 SAM Çü¼º¿¡ ÀÇÇÑ Á÷¹°¿¡ÀÇ ¹ßÀ¯¼º ºÎ¿©

VUV ó¸® ÈÄ ¹ßÀ¯±â´ÉÀ» °®´Â FAS¸¦ ÀÌ¿ëÇØ 100¡É¿¡¼­ 7½Ã°£, ¿­ CVD¸¦ ÇàÇÑ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ n-hexadecaneÀÇ Á¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù.

¹Ìó¸® Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡¼­´Â n-hexadecaneÀº ÀûÇÏ Á÷ÈÄ Ä§ÅõÇعö·È´Ù. ±×·¯³ª FAS13 ¹× FAS17·Î ó¸®Çϸé 120¡Æ ÀüÈÄ°¡ µÇ¾î, ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â 60¡Æ¸¦ ´ëÆø »óȸÇÏ´Â °á°ú¸¦ ¾ò¾ú´Ù. FAS 3¿¡ À־´Â 100¡É¿¡¼­ 7½Ã°£ ó¸®Çصµ ¹ßÀ¯¼ºÀº ¾ò¾îÁöÁö ¾Ê¾Ò´Ù.

3.3.2 ¹ßÀ¯¼º ºÎ¿©¸¦ À§ÇÑ ¿­ CVD Á¶°ÇÀÇ ÃÖÀûÈ­

¹ßÀ¯°¡°øÀÇ ¿­ CVD Á¶°ÇÀ» °ËÅäÇϱâ À§ÇØ ¿­ÁõÂø¿Âµµ¸¦ 100¡É, 150¡É, ÁõÂø½Ã°£À» 1½Ã°£, 3½Ã°£, 5½Ã°£, 7½Ã°£À¸·Î ¹ßÀ¯¼º Á÷¹°ÀÇ n-hexadecaneÀÇ Á¢ÃË°¢À» ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸²6°ú °°´Ù.

±× °á°ú Á¢ÃË°¢Àº FAS13, FAS17 ¸ðµÎ CVD ó¸®Á¶°ÇÀÌ 100¡É¡¿3½Ã°£ ¶Ç´Â 150¡É¡¿3½Ã°£ À̻󿡼­´Â Â÷ÀÌ´Â È®ÀεÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù. FAS17ÀÇ 100¡É¡¿1½Ã°£Àº Á¢ÃË°¢ ÃøÁ¤Àº °¡´ÉÇÏ¿´À¸³ª ÀûÇÏ ÈÄ 1ºÐ À̳»¿¡´Â ħÅõµÇ¾î¹ö·Á, ¹ßÀ¯¼º È¿°ú´Â ±×´ÙÁö ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ¶Ç ´Ù¸¥ Á¶°Ç¿¡¼­µµ CVD ó¸® 1½Ã°£¿¡¼­´Â n-hexadecaneÀº ÀûÇÏ Á÷ÈÄ¿¡ ħÅõµÇ¾î¹ö·Á ¹ßÀ¯¼º È¿°ú´Â ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê¾Ò´Ù.

¶Ç »ó±â ¹æ¹ýÀ¸·Î ¹ßÀ¯ °¡°øÇÑ ½Ã·á¿¡ n-hexadecane 20§¡ ÀûÇÏ ÈÄ n-hexadecaneÀÌ Á÷¹°¿¡ ħÅõÇÒ ¶§±îÁöÀÇ ½Ã°£À» ÃøÁ¤, ÈíÀ¯¼ºÀ» °ËÅäÇÏ¿´´Ù.

±× °á°ú n-hexadecaneÀÇ Ä§Åõ½Ã°£Àº ó¸®Á¶°Ç¿¡ µû¶ó È®½ÇÇÑ Â÷À̸¦ º¸¿´´Ù. 󸮽ð£ÀÌ ÂªÀ»¼ö·Ï ÀûÇÏ ÈÄ 5ºÐ À̳»¿¡ ħÅõÇϱ⠶§¹®¿¡ ¹ßÀ¯È¿°ú´Â ÀûÀº °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù. 30ºÐ ÀÌ»ó Áö³ªµµ ħÅõÇÏÁö ¾Ê¾Ò´ø °ÍÀº FAS13Àº 100¡É¡¿7½Ã°£°ú 150¡É¡¿5½Ã°£, FAS17Àº 100¡É¡¿5½Ã°£ ¹× 7½Ã°£, 150¡É¡¿3½Ã°£ ¹× 5½Ã°£À̾ú´Ù.

ÀÌ»óÀÇ °á°ú·ÎºÎÅÍ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°¿¡ÀÇ ¹ßÀ¯°¡°øÀ» À§ÇÑ ÃÖÀûÀÇ ¿­ CVD Á¶°ÇÀº

(FAS13)100¡É¡¿7½Ã°£°ú 150¡É¡¿5½Ã°£ ÀÌ»ó

(FAS17)100¡É¡¿5½Ã°£ ¶Ç´Â 150¡É¡¿3½Ã°£ ÀÌ»ó

ÀÌ ÇÊ¿äÇÒ °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.

3.4 SAM Çü»óÇÑ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ Ç¥¸é°üÂû

SAM Çü¼ºÇÑ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ Ç¥¸éó¸® »óŸ¦ °ËÅäÇϱâ À§ÇØ AFMÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¹Ìó¸®Æ÷ÀÇ Ç¥¸é»óŸ¦ °üÂûÇÏ¿´´Ù. SAM Çü¼º Á¶°ÇÀº FAS17À» »ç¿ëÇØ 100¡É, 7½Ã°£À¸·Î ó¸®ÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 7°ú °°´Ù.

Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹° 1º»ÀÇ Ç¥¸é »óŸ¦ º¸¸é, ¹Ì󸮿¡ ºñÇØ Ã³¸®½Ã·á´Â ¼¶À¯Ç¥¸éÀÇ ¿äöÀÌ ¾øÀÌ ÆòÈ°ÇÏ°Ô µÇ¾î ¼¶À¯ 1º»ÀÇ °ÅÄ¥±â°¡ °æ°¨µÇ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â Æú¸®¿¡½ºÅÍ ¼¶À¯ Ç¥¸é¿¡ FASÀÇ ºÐÀÚ¸·ÀÌ Çü¼ºµÇ¾ú±â ¶§¹®À¸·Î »ý°¢µÇ¾î, Ç¥¸é°üÂû¿¡ ÀÇÇؼ­µµ SAMÀÇ Çü¼ºÀÌ È®ÀεǾú´Ù.

3.5 ¿­Ã³¸®¿¡ ÀÇÇÑ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ È²º¯

Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ ¿­Ã³¸®¿¡ ÀÇÇÑ È²º¯ÀÌ ¿ì·ÁµÇ±â ¶§¹®¿¡ VUV ó¸® ÈÄ ¿Âµµ ¹× ½Ã°£À» º¯È­½ÃÄÑ ¿­ CVD ó¸®ÇÑ Á÷¹°ÀÇ ¹é»öµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿´´Ù. ±× °á°ú´Â ±×¸² 8°ú °°´Ù. 󸮿µµ°¡ 150¡É¸¦ ³ÑÀ¸¸é WI´Â »ó´çÈ÷ ÀúÇÏÇÑ´Ù. Ã˸Ÿ¦ »ç¿ëÇϸé WI´Â ´õ¿í ³·¾ÆÁ®, Ȳº¯ÀÇ Á¤µµ´Â Áõ°¡ÇÑ´Ù´Â °Íµµ ¾Ë¾Ò´Ù. Spray ¹ýÀ¸·Î, ƯÈ÷ WI°¡ ³·Àº °ÍÀº Ã˸Ű¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô µµÆ÷µÇÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡ ´Ù·®À¸·Î ºÙ¾î ÀÖ´Â ºÎºÐÀÌ º¸´Ù Ȳº¯ÀÌ ½±±â ¶§¹®À¸·Î »ý°¢µÈ´Ù. Ã˸Ÿ¦ »ç¿ëÇÑ °æ¿ì ó¸® ÈÄÀÇ ODS Àܾ×ÀÌ °¥»öÀ¸·Î º¯ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεǾú´Ù. À̷μ­ ODS¿Í Ã˸ÅÀÇ ¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇØ º¯»öÀÌ ÀϾ, ÀÌ°ÍÀÌ Æú¸®¿¡½ºÅÍ Á÷¹°ÀÇ È²º¯¿¡µµ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.

¶Ç 󸮽ð£ÀÇ °æ°ú¿Í ÇÔ²² WI°¡ ÀúÇÏÇÑ´Ù´Â °Íµµ ¾Ë¾Ò´Ù.

4. °á·Ð

SAM Çü¼º±â¼úÀ» È°¿ëÇØ Á÷¹° Ç¥¸é¿¡ ±â´É¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â ½Å±Ô°¡°ø¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸¸¦ ÇàÇÏ¿´´Ù. ±× ¿¬±¸ ¼º°ú¿¡ µû¶ó ´çÃÊ ¸ñÇ¥·Î ÇÑ ¹ß¼ö¼º : Á¢ÃË°¢(¼ø¼ö) 130¡Æ ÀÌ»ó, ¹ßÀ¯¼º : Á¢ÃË°¢(n-hexadecane) 60¡Æ ÀÌ»óÀ» ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ¹ßÀ¯¼º¿¡ °üÇؼ­´Â ¸ñÇ¥°ªÀ» Å©°Ô »óȸÇÏ´Â Á¢ÃË°¢ 120¡Æ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ¾î, SAM Çü¼º±â¼ú¿¡ ÀÇÇÑ ³ôÀº ±â´É¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» ¾Ë¾Ò´Ù.

º» ¼ö¹ýÀ» ½Ç¿ëÈ­Çϱâ À§Çؼ­´Â CVD 󸮿µµ°¡ ºñ±³Àû ³ô°í CVD 󸮽ð£ÀÌ ±æ´Ù´Â °ÍÀÌ ÇϳªÀÇ °úÁ¦ÀÌ´Ù. ÀÌ´Â SAM Çü¼º¿ø·á¸¦ °¡¿­ÇÏ´Â °Í¸¸À¸·Î ±âÈ­µÇ±â ¶§¹®¿¡ ÇÊ¿äÇÑ factorÀÌ´Ù. µû¶ó¼­ ÃÊÀ½ÆÄ °¡½À±â µîÀ» ÀÌ¿ëÇØ SAM Çü¼º¿ø·áÀ» Àû±ØÀûÀ¸·Î ±âÈ­½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇϸé CVD ó¸®ÀÇ Àú¿ÂÈ­․´Ü½Ã°£È­¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù.

*Ãâó: http://www.reseat.re.kr/Monitor1R.do?method=read

½Å°³³ä DTG(Digital To Garment)ÇÁ¸°ÅÍ ±¹³» ù°ÉÀ½
¾×»óÀ¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¼¼¶ó¹Í ¹Ú¸· Á¦Á¶¹æ¹ý