Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø

  • Home
  • Sitemap
  • Contact us

»ê¾÷±â¼úÁ¤º¸

  • Home
  • >
  • Á¤º¸¸¶´ç
  • >
  • »ê¾÷±â¼úÁ¤º¸
ź¼Ò¼¶À¯¿Í Æú¸®Ä«º¸½Ç¶õÀ¸·ÎºÎÅÍ »ý¼ºµÇ´Â Ä«¹ÙÀÌµå ¸ÅÆ®¸¯½º Áß°£»ó¿¡¼­ÀÇ Åº¼Ò ¼ºÀå
¿¬±¸¼Ò 2011-10-14 8766

÷ºÎÆÄÀÏ : ź¼Ò¼¶À¯¿Í Æú¸®Ä«º¸½Ç¶õÀ¸·ÎºÎÅÍ »ý¼ºµÇ´Â Ä«¹ÙÀÌµå ¸ÅÆ®¸¯½º Áß°£»ó¿¡¼­ÀÇ Åº¼Ò ¼ºÀå.pdf(247265) download:17301ȸ

 

 

ź¼Ò¼¶À¯¿Í Æú¸®Ä«º¸½Ç¶õÀ¸·ÎºÎÅÍ »ý¼ºµÇ´Â

 

Ä«¹ÙÀÌµå ¸ÅÆ®¸¯½º Áß°£»ó¿¡¼­ÀÇ Åº¼Ò ¼ºÀå

 

Çѱ¹°úÇбâ¼úÁ¤º¸¿¬±¸¿ø

Àü¹®¿¬±¸À§¿ø ¸¶¼®ÀÏ

(simah@reseat.re.kr)

 

  ¿¬¼ÓµÈ ¼¶À¯·Î º¸°­µÈ º¹ÇÕÀç·áÀÇ °­µµ´Â ¼¶À¯¿Í ¸ÅÆ®¸¯½º »çÀÌÀÇ Áß°£»ó¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÈ´Ù. ¸ÅÆ®¸¯½º¿Í º¸°­Àç·á »çÀÌÀÇ ÇÏÁß À̵¿°ú Å©·¢ÀÇ ÀüÆÄ¿¡ ÀÇÁ¸µÇ´Âµ¥ ÀϹÝÀûÀ¸·Î Áß°£»óÀÇ Àç·á´Â ¿­ºÐÇØµÈ Åº¼Ò¿Í 6¹æÇüÀÇ ÁúÈ­º¸·ÐÀÌ »ç¿ëµÇ´Âµ¥ Åë»óÀûÀ¸·Î´Â ¼¶À¯°¡ ¸ÅÆ®¸¯½º¿¡ ÀÓ¹èµåµÇ±â Àü¿¡ ź¼ÒÁß°£»óÀÌ È­ÇÐÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÁõÂø(CVD)µÈ´Ù.

 

  ½ÇÁ¦ÀûÀ¸·Î´Â Æú¸®Ä«º¸½Ç¶õ(PCS)À¸·ÎºÎÅÍ À¯µµµÈ SiC ¼¶À¯ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ¾ãÀº ź¼ÒÇʸ§À» Çü¼º½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î ÁøÇàµÈ´Ù. ÀÌ ±ÛÀº ź¼Ò¼¶À¯·Î º¸°­µÈ SiC¸ÅÆ®¸¯½º º¹ÇÕÀç·áÀÇ Áß°£»ó¿¡¼­ ÁøÇàµÇ´Â Æú¸®¹æÇâÁ· ź¼ÒÀÇ ¼ºÀå¿¡ ´ëÇÑ ½ÇÇè°á°ú¸¦ ¼Ò°³ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

 

  ºÐÀÚ·®ÀÌ 1742ÀÌ¸ç ¿¬È­¿Âµµ°¡ 175¡ÉÀÎ PCS´Â ÇÊÀڵ鿡 ÀÇÇؼ­ ÇÕ¼ºµÈ °ÍÀ» SiC ¸ÅÆ®¸¯½ºÀÇ Àü±¸Ã¼·Î »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. ¼¶À¯¸¦ È£ºÎ(sizing)ÇÑ ÈÄ Áú¼ÒºÐÀ§±â ÇÏ¿¡¼­ 1000¡É¿¡¼­ 30ºÐÀ» ¿­Ã³¸®ÇÏ°í 3Â÷¿ø ±¸Á¶ÀÇ ºê·¹À̵åÇüÀÇ Åº¼Ò¼¶À¯(Æú¸®¾ÆÅ©¸±·Î´ÏÆ®¸± ¼¶À¯·ÎºÎÅÍ ¾òÀº °Í)¸¦ ÇÁ¸®Æû(preform)À¸·Î ¸¸µé¾î º¸°­Àç·Î »ç¿ëÇÏ¿´´Ù.

 

  ÀÌ ÇÁ¸®ÆûÀ» ¹ÐºÀµÈ ¿ë±â¿¡ ³Ö°í Áø°ø Áß¿¡¼­ PCS-ÀÚÀÏ·» ¿ë¾×À» ħÅõ½ÃÅ°°í ÇÁ¸®ÆûÀ» 1200¡É¿¡¼­ 30ºÐ°£ Áú¼Ò ºÐÀ§±â ÇÏ¿¡¼­ ¿­ºÐÇؽÃÄ×´Ù. ¿­ºÐÇؽÇÇèÀº °¡¿­/³Ã°¢À» 500¡É/½Ã°£ÀÇ ¼Óµµ·Î Á¶ÀýÇÏ°í ¸¶Áö¸·À¸·Î ¿­ ¹ø ħÁö¿Í ¿­ºÐÇØ°úÁ¤À» ÃÖÃÊÀÇ »çÀÌŬ°ú °°Àº Á¶°ÇÀ¸·Î ¹Ýº¹ÇÏ¿´´Ù.

 

  °è¸éºÎºÐÀÇ ÅõÀÚÀüÀÚÇö¹Ì°æ »çÁø°ú Áß°£»ó¿¡¼­ÀÇ °íÇØ»ó Åõ°úÀüÀÚ Çö¹Ì°æ,C/Si º¹ÇÕÀç·áÀÇ Áß°£»ó¿¡¼­ °¡±î¿î ºÎºÐ°ú SiC ¸ÅÆ®¸¯½º ³»ÀÇ ¿¡³ÊÁö ºÐ»ê X-¼± ºÐ±¤ºÐ¼®À» ÇàÇÏ¿´´Âµ¥ ź¼Ò¼¶À¯¿Í SiC ¸ÅÆ®¸¯½º »çÀÌ¿¡ ¾à 20§¬ÀÇ µÎ²²¸¦ °¡Áö´Â Áß°£»óÀÌ Á¸ÀçÇϸç Áß°£»óÀº ´Ù°ø¼º ±¸Á¶¸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ½ÀÌ È®ÀεǾú´Ù.

 

 ¿ø¹®ÆÄÀÏ Ã·ºÎ

 °ü·Ã¸µÅ© : http://www.reseat.re.kr/Monitor1R.do?method=read

 Ãâó : Çѱ¹°úÇбâ¼úÁ¤º¸ ¿¬±¸¿ø

³ª³ë¼¶À¯ÀåÄ¡ ¡¸³ª³ë½ºÆÄÀÌ´õ¡¹ÀÇ ±â¼ú°ú Ư¡
Áß±¹ ¼¶À¯½ÃÀå¿¡¼­ Çѱ¹°ú ÁÖ¿ä °æÀï±¹µéÀÇ °æÇÕ°ü°è ºÐ¼®°ú Á¤Ã¥Àû ½Ã»çÁ¡